一、產品概況

1.1應用領域

單片甩干機是高潔凈度清洗甩干設備, 具有高速甩干，快速烘干的特點，根據不同晶圓尺寸，可通過快速更換甩干頭來實現。是濕法清洗工藝的主要設備，體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的干燥工藝。具有成本低，快速應用生產等優點。

1.2外觀

1.2.1 外形尺寸：

1.2.2 機身結構：進口PP板外殼

1.2.3 適用2”-8”晶圓加工

1.3工藝參數

1.3.1 簡便直接調速面板

1.3.2 旋轉速度：100-6000 r/min

1.3.3 運行時間：0-999S

1.4設備配置

1.4.1 快速拆卸更換甩干頭（快插式）

1.4.2 潔凈閥門管件

1.4.3 噴藥沖水清洗功能（可選配）

1.4.4 氮氣加熱吹凈 （可選配）

1.4.5 靜電消除裝置和電阻率檢測控制和探頭（可選配）

1.5動力參數

1.5.1電氣：220V，1KW

1.5.2 N2：OD6mm管，壓力：0.25-0.3Mpa，流量：5L/min（無選配氮氣加熱功能無此項）

1.5.3 DI：OD6mm管，壓力：0.3-0.4Mpa，流量：5L/min（無選配沖水功能無此項）

1.5.4 排水：OD 12mm(PFA)