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產品中心

晶圓甩干機,6寸晶圓甩干機,硅片甩干機,碳化硅晶圓甩干機

一、設備概況1.1應用領域:晶圓甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備,具有高潔凈沖洗,高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換轉子來實現。是濕法清洗工藝的主要設備,設備本身有單腔室和雙腔室2種結構,體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。1.2名稱:雙腔室甩干機1.3型號:CSM870S1.4尺寸:710mm*460mm*185

圖片關鍵詞

一、設備概況

1.1應用領域:晶圓甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備具有高潔凈沖洗,高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換轉子來實現。是濕法清洗工藝的主要設備,設備本身有單腔室和雙腔室2種結構,體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。

1.2名稱:雙腔室甩干機

1.3型號:CSM870S

1.4尺寸:710mm*460mm*1850mm  

1.5晶圓規格:2-6 英寸

 

二、主要結構特征

2.1 結構特征

雙腔室甩干機主要由主軸傳動部分,片盒夾具,工作腔,機架,門蓋部分,潔凈管路部分,電氣控制等組成。

2.1.1材質:不銹鋼機架+10mm PP板外殼

2.1.2設備機架:SUS304不銹鋼材料,能夠滿足潔凈室工作環境。

2.1.3腔體和載體采用耐腐蝕SUS316L不銹鋼并電化學拋光。片架載體可方便更換。

2.1.4電機及轉子經精密的動平衡處理,減少設備共振。

2.1.5采用專用定制無刷電機及控制器,保證設備的穩定、可靠及滿足系統對潔凈度處理的要求。

2.1.6管路系統:PFA潔凈管路

2.2 工藝腔體及載體

2.2.1工藝腔數量2 材質為不銹鋼316L(腔體電解拋光處理)

2.2.2規格∶ 加工尺寸 2-6 英寸全高片盒,可兼容。

2.2.3工作轉速 2002200 RPM/MIN

2.2.4加熱功能∶ 氮氣加熱  腔體加熱

2.2.5軸封:電機轉軸采用氮氣軸封。

2.3 純水控制單元:

2.3.1采用扇形沖洗噴嘴。

2.3.2排水口安裝電阻率探頭,對腔體排水水質進行監測。

2.3.3沖洗工藝完成后,氮氣將殘留在沖洗管路內的去離子水吹凈。

2.3.4待機時,保持回水盒內有水流入且流量可調。

2.4 氮氣控制單元:

2.4.1管件閥門: SMC電磁閥、 PFA高純管件、 PTFE氣控閥門。

2.4.2氮氣加熱功能: 316不銹鋼加熱器在線加熱,溫度開關控制, 加熱溫度控制在 80℃。

2.4.3配置高潔凈型減壓閥,內置氮氣過濾器,過濾精度 0.003μm。

2.5 防靜電控制單元:

2.5.1由高壓發生器、氮氣電離室及氮氣控制通道組成。

2.5.2當氮氣通過高壓發生器的控制區時,氮氣電離充斥整個工藝腔體,形成中和平衡消除靜電。

2.6 顆粒度:

顆粒增加值:需與客戶確認

2.7 電控單元及軟件系統:

2.7.1 甩干工藝過程由 PLC 控制器+觸摸屏控制,可選擇設置多種用戶工藝菜單,并對每 個菜單的內容如:時間、速度參數進行設置。

2.7.2系統軟件還具有密碼權限設置,故障顯示及報警功能。設備出現故障時,系統會停止工作并顯示錯誤信息、報警以提示更改和維修。

2.8 工藝流程:

去離子水旋轉沖洗+離心甩干氮氣烘干

建議工藝參數:

階段

沖水

吹凈

烘干1

烘干2

時間

60s

30s

120S

200S

速度

800r/min

1000r/min

1800r/min

600r/min

介質

去離子水

氮氣

氮氣

氮氣

氮氣溫度

0°

80°

80°

 

三、主要技術參數

項目

主要性能指標和參數

加工硅片尺寸

2-6 英寸圓片

單次甩干數量

50

工位數量(個)

2

碎片率

0.01%

顆粒增加值

根據客戶環境及產品要求確定

旋轉速度 RPM/MIN

200-2000

甩干時間

5-8min

腔室及氮氣加熱方式

電加熱器

氮氣壓力

0.25-0.3Mpa,氮氣管接口3/8”

氮氣耗量 L/min

80

純水壓力

0.25-0.3Mpa, 管接口3/8”

排水管

40mm圓管 PVC

控制系統

三菱PLC可編程控制器

顯示

4.3寸觸摸屏

電源

AC220V

整機功率

5 KW

外型尺寸(深**高)mm

710mm*460mm*1850mm



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