一、設備概況
1.1應用領域:晶圓甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備, 具有高潔凈沖洗,高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換轉子來實現。是濕法清洗工藝的主要設備,設備本身有單腔室和雙腔室2種結構,體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
1.2名稱:雙腔室甩干機
1.3型號:CSM870S
1.4尺寸:710mm*460mm*1850mm
1.5晶圓規格:2-6 英寸
二、主要結構特征
2.1 結構特征
雙腔室甩干機主要由主軸傳動部分,片盒夾具,工作腔,機架,門蓋部分,潔凈管路部分,電氣控制等組成。
2.1.1材質:不銹鋼機架+10mm PP板外殼
2.1.2設備機架:SUS304不銹鋼材料,能夠滿足潔凈室工作環境。
2.1.3腔體和載體采用耐腐蝕SUS316L不銹鋼并電化學拋光。片架載體可方便更換。
2.1.4電機及轉子經精密的動平衡處理,減少設備共振。
2.1.5采用專用定制無刷電機及控制器,保證設備的穩定、可靠及滿足系統對潔凈度處理的要求。
2.1.6管路系統:PFA潔凈管路
2.2 工藝腔體及載體
2.2.1工藝腔數量∶2個 材質為不銹鋼316L(腔體電解拋光處理)
2.2.2規格∶ 加工尺寸 2-6 英寸全高片盒,可兼容。
2.2.3工作轉速∶ 200—2200 RPM/MIN
2.2.4加熱功能∶ 氮氣加熱 腔體加熱
2.2.5軸封:電機轉軸采用氮氣軸封。
2.3 純水控制單元:
2.3.1采用扇形沖洗噴嘴。
2.3.2排水口安裝電阻率探頭,對腔體排水水質進行監測。
2.3.3沖洗工藝完成后,氮氣將殘留在沖洗管路內的去離子水吹凈。
2.3.4待機時,保持回水盒內有水流入且流量可調。
2.4 氮氣控制單元:
2.4.1管件閥門: SMC電磁閥、 PFA高純管件、 PTFE氣控閥門。
2.4.2氮氣加熱功能: 316不銹鋼加熱器在線加熱,溫度開關控制, 加熱溫度控制在 80℃。
2.4.3配置高潔凈型減壓閥,內置氮氣過濾器,過濾精度 0.003μm。
2.5 防靜電控制單元:
2.5.1由高壓發生器、氮氣電離室及氮氣控制通道組成。
2.5.2當氮氣通過高壓發生器的控制區時,氮氣電離充斥整個工藝腔體,形成中和平衡消除靜電。
2.6 顆粒度:
顆粒增加值:需與客戶確認
2.7 電控單元及軟件系統:
2.7.1 甩干工藝過程由 PLC 控制器+觸摸屏控制,可選擇設置多種用戶工藝菜單,并對每 個菜單的內容如:時間、速度參數進行設置。
2.7.2系統軟件還具有密碼權限設置,故障顯示及報警功能。設備出現故障時,系統會停止工作并顯示錯誤信息、報警以提示更改和維修。
2.8 工藝流程:
去離子水旋轉沖洗+離心甩干氮氣烘干
建議工藝參數:
階段 | 沖水 | 吹凈 | 烘干1 | 烘干2 |
時間 | 60s | 30s | 120S | 200S |
速度 | 800r/min | 1000r/min | 1800r/min | 600r/min |
介質 | 去離子水 | 氮氣 | 氮氣 | 氮氣 |
氮氣溫度 | 無 | 0° | 80° | 80° |
三、主要技術參數
項目 | 主要性能指標和參數 |
加工硅片尺寸 | 2-6 英寸圓片 |
單次甩干數量 | 50片 |
工位數量(個) | 2 |
碎片率 | ≤0.01% |
顆粒增加值 | 根據客戶環境及產品要求確定 |
旋轉速度 RPM/MIN | 200-2000 |
甩干時間 | 5-8min |
腔室及氮氣加熱方式 | 電加熱器 |
氮氣壓力 | 0.25-0.3Mpa,氮氣管接口3/8” |
氮氣耗量 L/min | 80 |
純水壓力 | 0.25-0.3Mpa, 管接口3/8” |
排水管 | 40mm圓管 PVC管 |
控制系統 | 三菱PLC可編程控制器 |
顯示 | 4.3寸觸摸屏 |
電源 | AC220V |
整機功率 | 5 KW |
外型尺寸(深*寬*高)mm | 710mm*460mm*1850mm |