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晶圓倒角設備,手動晶圓倒角機,晶圓倒邊機,硅片晶圓倒角機

一、設備簡介數控晶圓倒角機是一種精密的半導體生產設備,專門用于對硅晶圓、碳化硅或藍寶石等材料的晶圓進行精確的邊緣倒角處理,以消除切割后產生的毛刺、銳邊,提高晶圓邊緣質量,確保后續芯片制造過程中的良率和安全性。二、主要技術參數型號DJ-150DJ200晶圓尺寸2-6Inch4-8Inch晶圓厚度300um ~1200um(可定制)適用晶圓形狀OF晶圓及圓邊晶圓晶圓邊形T、R、TT、RR、TR型(可定

圖片關鍵詞


一、設備簡介

數控晶圓倒角機是一種精密的半導體生產設備,專門用于對硅晶圓、碳化硅或藍寶石等材料的晶圓進行精確的邊緣倒角處理,以消除切割后產生的毛刺、銳邊,提高晶圓邊緣質量,確保后續芯片制造過程中的良率和安全性。

二、主要技術參數

型號

DJ-150

DJ200

晶圓尺寸

2-6Inch

4-8Inch

晶圓厚度

300um ~1200um(可定制)

適用晶圓形狀

OF晶圓及圓邊晶圓

晶圓邊形

TRTTRRTR(可定制)

0F長度

5mm~65mm

0F肩圓角半徑

20mm

研磨圈數

15

砂輪最大轉速

6000rpm

研磨速度

1mm/s 50mm/s

精度

±0.01mm

加工方式

數控完成晶圓外輪廓倒角

晶圓固定方式

真空吸附(可定制)

晶圓定位方式

機械卡具定位

特殊功能

可定制加工異形晶圓

人機界面

觸摸屏

冷卻水

0.3MPa RO

壓縮空氣

0.55MPA

排風

10L/MIN

環境溫度

10-28

電力要求

220VAC±10%, 單相, 50Hz or 60Hz, 15A

設備重量

600KG

三、操作前準備工作

3.1確保電源連接穩定可靠,接地良好;

3.2檢查各部件是否完好,包括但不限于防護罩、工作臺真空吸盤、砂輪、驅動器等;

3.3確認倒角機運行前的初始設置是否正確

3.4確認開啟冷卻水(壓力要求0.3Mpa),壓縮空氣(0.55MPA)是否開啟

3.5確認排水是否連接到下水管路。


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