1、設備概況
1.1應用領域：單片清洗甩干機是高潔凈度清洗甩干設備, 具有高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換甩干頭來實現。是濕法清洗工藝的主要設備，體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。具有成本低，快速應用生產等優點。
1.2名稱：單片清洗甩干機
1.3型號：QSG-150/200
2、主要結構特征
單片清洗甩干機主要伺服電機，PLC控制器，人機界面，高潔凈閥門，PFA管，氮氣加熱器，防腐蝕外殼，以及甩干頭等部分組成。
2.1材質：進口PP板，能夠滿足潔凈室工作環境。
2.2專用伺服電機，可實現每分鐘10-5000轉，低速均勻清洗，高速離心甩干。
2.3工業PLC控制器和人機界面，穩定可靠控制各個部件，直觀可視化操作模式。。
2.4甩干頭詳情 可根據客戶需要定制適用不同規格尺寸的甩干頭
3、主要技術參數
項目 | 主要性能指標和參數 |
加工硅片尺寸 | 2-8 英寸圓片 |
單次甩干數量 | 1片 |
工位數量（個） | 1 |
旋轉速度 RPM/MIN | 10-5000 |
清洗噴嘴類型 | 扇形/錐形/直管 |
清洗甩干時間 | 2-5min |
氮氣壓力 | 0.15Mpa，氮氣管接口6mm |
純水壓力 | 0.15Mpa， 管接口6mm |
排水管 | 12mm卡套接頭 |
顯示/控制系統 | 7寸觸摸屏/PLC可編程控制器 |
電源 | 220V |
整機功率 | 1KW |
外型尺寸（深*寬*高）mm | 長360mm*寬330mm*高500mm
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4、產品外觀
