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產(chǎn)品中心

單晶爐,晶體生長爐,砷化鎵VGF單晶爐,全自動VGF升降長晶爐,VGF碲鋅鎘長晶爐

一、設(shè)備概況1.1產(chǎn)品應(yīng)用:主要用于2~6英寸鍺單晶、砷化鎵,碲鋅鎘等化合物晶體的生長。1.2產(chǎn)品特點:1.2.1工業(yè)計算機控制系統(tǒng)(WINDOWS系統(tǒng)界面,操作方便簡潔);1.2.2關(guān)鍵部件均采用進口,確保設(shè)備的高可靠性;1.2.3控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好;1.2.4具有斷電報警、超溫/欠溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能;1.2.5晶體生長均勻性好、重復(fù)性高。二、主要技術(shù)參數(shù)工作溫度6

晶圓單片清洗機,晶圓甩干機,單晶爐,多晶爐,區(qū)熔爐,,晶片檢測強光燈,單片甩干機,梅耶博格內(nèi)圓鋸,晶圓倒角機

一、設(shè)備概況

1.1產(chǎn)品應(yīng)用:主要用于26英寸鍺單晶、砷化鎵,碲鋅鎘等化合物晶體的生長

1.2產(chǎn)品特點:
1.2.1工業(yè)計算機控制系統(tǒng)(WINDOWS 系統(tǒng)界面,操作方便簡潔)
1.2.2關(guān)鍵部件均采用進口,確保設(shè)備的高可靠性
1.2.3控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好
1.2.4具有斷電報警、超溫/欠溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能
1.2.5晶體生長均勻性好、重復(fù)性高

二、主要技術(shù)參數(shù)

工作溫度

6001280℃

適應(yīng)晶體尺寸

26英寸

裝料量

15Kg/

加熱控制

7段控制

溫區(qū)長度

800mm±0.5℃10001280℃) (可定制)

升溫速率

15℃/min

升降行程

900mm

最小升降速率(VB

0.1mm/h

配套設(shè)備

合成爐、鑄錠爐、脫氧封管爐等



關(guān)聯(lián)內(nèi)容

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